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碳化硅化学气相 沉积外延设备工业设计

客户 :NASOTECH
时间 :2023
服务内容 :设备外观设计、结构设计
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纳设智能(NASOTECH),是由来自剑桥大学的博士、研究员和资深行业专家创立的科技型企业,主要从事第三代半导体碳化硅、新型光伏材料、纳米材料等先进材料领域所需的薄膜沉积设备等高端设备的研发、生产和销售。其中碳化硅外延设备采用自主创新的结构设计,同时兼容6英寸、4英寸外延片生长,是一款工艺指标优异、耗材成本低、维护频率低的中国首台完全自主创新的碳化硅外延设备,占据第三代半导体产业链上游关键环节。

该设备工业设计项目,由意途工业设计公司的设计团队与NASOTECH技术团队深度沟通及设计分析后共同倾力打造,旨在通过技术与工业设计的融合,打造具有高端、智能、科技属性的行业标杆设备。

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